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一、高溫氣體液體流量控制器MFC及流量計 產品概述：
-- 允許廣泛應用于各行業領域，如：工藝制造、食品分析、分析性測試與計量等。
多變量測量以及50:1量程可調比，使得僅用一臺ACU10HT質量流量計&控制器便可取代多臺設備的功效。
-- 精度±1%F.S、重復性1%及不到200毫秒的控制響應時間，確保過程氣體/液體/蒸汽正常工作。
二、高溫氣體液體流量控制器MFC及流量計 產品參數：
（如所需參數性能與上述不符，請溝通定制）
| 規格 | 量程范圍 | 氣體：5SCCM~3000SLM 液體：5SCCM~10SLM 蒸汽：10SLM~100SLM | |
| 精度（調零后標準條件下） | ±1%F·S | ||
| 重復性 | ±1%F·S | ||
| 零點漂移&滿量程漂移 | 0.02%F·S/℃/Atm | ||
| 工作范圍/量程可調比 | 50：1 | ||
| 典型響應時間 | 200毫秒（可調整） | ||
| 啟動預熱時間 | ＜5秒 | ||
| 運行狀況 | 工作壓力 | 3 MPa /10 MPa | |
| 對安裝方式/方向的要求 | ＞1L/min量程，閥門須垂直安裝 | ||
| 閥門等級 | 閥門長閉 | ||
| 防護等級 | IP40 | ||
| 材質 | 不銹鋼 | ||
| 信號 | 單色LCD顯示屏 | 同時顯示流量、設定 | |
| 數字輸出信號 | RS-485/PROFIBUS | ||
| 模擬輸入信號 | 0~5VDC/4~20mA | ||
| 模擬輸出信號 | 0~5VDC/4~20mA | ||
| 電信號接口 | DB15 | ||
| 供電電壓 | 24~30VDC | ||
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